标题

Method for manufacturing capacitive micromachined ultrasonic transducer and apparatus configured to obtain subject information using the capacitive micromachined ultrasonic transducer

授权日

1900-01-01

公开（公告）号

US20160243588A1

申请日

2016-05-03

公开（公告）日

2016-08-25

当前申请（专利权）人

CANON KABUSHIKI KAISHA

发明人

NAKANISHI, KOICHIRO

简单同族

CN103130178A | CN103130178B | JP2013138411A | US20130135971A1 | US20160243588A1 | US9352960

简单同族成员数量

6

简单同族被引用专利总数

12

诉讼案件数

0

法律状态/事件

撤回