금속막 증착을 위한 스퍼터와 스퍼터를 이용한 액정 표시장치의 제조법

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금속막 증착을 위한 스퍼터와 스퍼터를 이용한 액정 표시장치의 제조법
授权日

2007-02-16
公开（公告）号

KR100686494B1
申请日

2002-12-30
公开（公告）日

2007-02-23
当前申请（专利权）人

엘지디스플레이 주식회사
发明人

김정록 | 강경규 | 정요한 | 남명우 | 신재득
简单同族

KR100686494B1 | KR1020040060602A | US20040119916A1 | US7158206
简单同族成员数量

4
简单同族被引用专利总数

16
诉讼案件数

0
法律状态/事件

未缴年费