标题

사진 식각용 장치 및 방법, 그리고 이를 이용한 액정 표시장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법

授权日

2007-02-15

公开（公告）号

KR100686228B1

申请日

2000-03-13

公开（公告）日

2007-02-22

当前申请（专利权）人

삼성전자주식회사

发明人

박운용 | 윤종수

简单同族

JP2001319876A | KR100686228B1 | KR1020010091119A | TW459285B | US20010041394A1 | US20020197539A1 | US6451635 | US7504342

简单同族成员数量

8

简单同族被引用专利总数

86

诉讼案件数

0

法律状态/事件

未缴年费 | 权利转移