标题

Method for manufacturing a thin film transistor array panel for a liquid crystal display and a photolithography method for fabricating thin films

授权日

2003-09-16

公开（公告）号

US6621545

申请日

2001-10-02

公开（公告）日

2003-09-16

当前申请（专利权）人

SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

发明人

PARK, WOON-YONG | BAEK, BUM-KI

简单同族

CN1155058C | CN1255740A | CN1293609C | CN1516244A | JP2000164584A | TW413844B | US20020028411A1 | US20040067445A1 | US20060011921A1 | US20070152224A1 | US20090283769A1 | US6335276 | US6621545 | US7202502 | US7537977 | US7888677

简单同族成员数量

16

简单同族被引用专利总数

177

诉讼案件数

0

法律状态/事件

期限届满 | 权利转移