标题

具有穿透基板通孔(TSV)的电容式微加工超声换能器(CMUT)器件

授权日

2018-01-05

公开（公告）号

CN105025802B

申请日

2014-02-27

公开（公告）日

2018-01-05

当前申请（专利权）人

德克萨斯仪器股份有限公司

发明人

P·B·约翰逊 | I·O·伍感特

简单同族

CN105025802A | CN105025802B | JP2016511607A | JP2016511607A5 | JP6337026B2 | US10335827 | US20140239769A1 | US20170050217A1 | US9520811 | WO2014134301A1

简单同族成员数量

10

简单同族被引用专利总数

13

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权