电容式超声传感器及其制备方法

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电容式超声传感器及其制备方法
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

CN102178545A
申请日

2011-02-14
公开（公告）日

2011-09-14
当前申请（专利权）人

中国科学院深圳先进技术研究院
发明人

俞挺 | 于峰崎
简单同族

CN102178545A | CN102178545B
简单同族成员数量

2
简单同族被引用专利总数

6
诉讼案件数

0
法律状态/事件

授权