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증착용 기판 이동부, 이를 포함하는 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
授权日
2020-04-02
公开(公告)号
KR102098741B1
申请日
2013-05-27
公开(公告)日
2020-04-09
当前申请(专利权)人
삼성디스플레이 주식회사
发明人
윤기영 | 임종희
简单同族
CN104183529A | CN104183529B | JP2014227607A | JP6381957B2 | KR1020140139359A | KR102098741B1 | TW201445668A | TWI643288B | US20140346467A1 | US9570716
简单同族成员数量
10
简单同族被引用专利总数
4
诉讼案件数
0
法律状态/事件
授权 | 复审
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