标题

발명의 명칭 어모퍼스 하이드로카본 나이트라이드（ａ­ＣＮ：Ｈｘ）막의 성막 방법, 유기 ＥＬ 디바이스

授权日

2013-07-04

公开（公告）号

KR101284671B1

申请日

2010-03-11

公开（公告）日

2013-07-16

当前申请（专利权）人

도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人

이시카와히라쿠

简单同族

CN102348777A | JP2010219112A | KR101284671B1 | KR1020110138373A | TW201105819A | WO2010104152A1

简单同族成员数量

6

简单同族被引用专利总数

12

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权