标题

마스크를 사용해서 층 재료를 부착시켜 기판 상에 사전설정된 패턴의 층을 형성하는 방법

授权日

2005-09-26

公开（公告）号

KR100518709B1

申请日

2001-09-27

公开（公告）日

2005-10-05

当前申请（专利权）人

산요덴키가부시키가이샤

发明人

야마다쯔또무 | 요네다기요시

简单同族

CN1265680C | CN1358055A | EP1207557A2 | EP1207557A3 | JP2002175878A | KR100518709B1 | KR1020020025760A | TW546985B | US20020076847A1

简单同族成员数量

9

简单同族被引用专利总数

213

诉讼案件数

0

法律状态/事件

放弃