标题

Vapor deposition apparatus, deposition method using the same, and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus

授权日

2017-01-10

公开（公告）号

US9543518

申请日

2014-04-11

公开（公告）日

2017-01-10

当前申请（专利权）人

SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

发明人

KIM, JAE-HYUN | HUH, MYUNG-SOO

简单同族

KR1020140127634A | US20140322849A1 | US20170117473A1 | US9543518

简单同族成员数量

4

简单同族被引用专利总数

2

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权 | 权利转移