标题

Apparatus for monitoring deposition rate, apparatus provided with the same for depositing organic layer, method of monitoring deposition rate, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same

授权日

1900-01-01

公开（公告）号

US20140377890A1

申请日

2013-11-13

公开（公告）日

2014-12-25

当前申请（专利权）人

SAMSUNG DISPLAY CO., LTD

发明人

VORONOV, ALEXANDER | MASLOV, DMITRY | HAN, GYOO-WAN

简单同族

KR1020150000356A | KR102108361B1 | US20140377890A1 | US9347886

简单同族成员数量

4

简单同族被引用专利总数

2

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权 | 权利转移