标题

Vapor deposition apparatus having improved carrier gas supplying structure and method of manufacturing an organic light emitting display apparatus by using the vapor deposition apparatus

授权日

1900-01-01

公开（公告）号

US20110151599A1

申请日

2010-08-12

公开（公告）日

2011-06-23

当前申请（专利权）人

SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

发明人

NA, HEUNG-YEOL | JEONG, MIN-JAE | LEE, KIL-WON

简单同族

CN102108500A | CN102108500B | KR101074810B1 | KR1020110072913A | TW201123579A | TWI596817B | US20110151599A1

简单同族成员数量

7

简单同族被引用专利总数

5

诉讼案件数

0

法律状态/事件

撤回 | 权利转移