膜厚センサ、薄膜形成装置、有機EL表示装置の製造装置、及び有機EL表示装置の製造方法

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膜厚センサ、薄膜形成装置、有機EL表示装置の製造装置、及び有機EL表示装置の製造方法
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

JP2008276998A
申请日

2007-04-26
公开（公告）日

2008-11-13
当前申请（专利权）人

ソニー株式会社
发明人

松元寿樹
简单同族

JP2008276998A
简单同族成员数量

1
简单同族被引用专利总数

15
诉讼案件数

0
法律状态/事件

撤回