素子材料堆積方法、素子材料堆積装置

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素子材料堆積方法、素子材料堆積装置
授权日

1900-01-01
公开（公告）号

JP2009043561A
申请日

2007-08-08
公开（公告）日

2009-02-26
当前申请（专利权）人

パナソニック株式会社
发明人

横山政秀 | 黒川崇裕 | 住田寛人 | 石川和宜 | 高橋光弘 | 竹澤幹夫 | 冨永善章
简单同族

JP2009043561A
简单同族成员数量

1
简单同族被引用专利总数

10
诉讼案件数

0
法律状态/事件

驳回