标题

레지스트 패턴의 형성 방법 및 이것을 사용한 미세 패턴의형성 방법 및 액정 표시 소자의 제조 방법

授权日

2007-09-10

公开（公告）号

KR100758865B1

申请日

2005-07-21

公开（公告）日

2007-09-14

当前申请（专利权）人

도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤

发明人

MORIO KIMITAKA

简单同族

CN100545750C | CN1743954A | JP2006072080A | JP4611690B2 | KR100758865B1 | KR1020060053968A | TW200609677A | TWI312442B

简单同族成员数量

8

简单同族被引用专利总数

11

诉讼案件数

0

法律状态/事件

授权