标题：
금속막 증착을 위한 스퍼터와 스퍼터를 이용한 액정 표시장치의 제조법
授权日：
2007-02-16
公开(公告)号：
KR100686494B1
申请日：
2002-12-30
公开(公告)日：
2007-02-23
当前申请(专利权)人：
엘지디스플레이 주식회사
发明人：
김정록 | 강경규 | 정요한 | 남명우 | 신재득
简单同族：
KR100686494B1 | KR1020040060602A | US20040119916A1 | US7158206
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
16
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费