标题：
불소가 함유된 실리콘산화막을 식각 마스크 및 층간 절연막으로하는 박막 트랜지스터-액정디스플레이
授权日：
2003-01-17
公开(公告)号：
KR100370452B1
申请日：
2000-02-29
公开(公告)日：
2003-01-29
当前申请(专利权)人：
장 진
发明人：
JANG,JIN
简单同族：
KR100370452B1 | KR1020010084789A
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
放弃