标题：
半導体装置、液晶表示装置、半導体装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法
授权日：
2006-09-22
公开(公告)号：
JP3856619B2
申请日：
2000-04-13
公开(公告)日：
2006-12-13
当前申请(专利权)人：
三菱電機株式会社 | セイコーエプソン株式会社
发明人：
村井 博之 | 小松 紀和
简单同族：
JP2001296552A | JP3856619B2
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
期限届满 | 权利转移