标题：
于薄膜晶体管液晶显示器制造过程中的蚀刻方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN1466017A
申请日：
2002-07-05
公开(公告)日：
2004-01-07
当前申请(专利权)人：
友达光电股份有限公司
发明人：
李孝忠 | 侯建州
简单同族：
CN1466017A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回