标题:
芯片转移装置及芯片转移方法
授权日:
1900-01-01
公开(公告)号:
CN113314446A
申请日:
2020-02-27
公开(公告)日:
2021-08-27
当前申请(专利权)人:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人:
覃宗伟
简单同族:
CN113314446A
简单同族成员数量:
1
简单同族被引用专利总数:
0
诉讼案件数:
0
法律状态/事件:
实质审查