标题：
半導体薄膜の製造方法、半導体装置及び薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタ及び液晶表示装置及び駆動回路一体型液晶表示装置の製造方法。
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2005216934A
申请日：
2004-01-27
公开(公告)日：
2005-08-11
当前申请(专利权)人：
株式会社 液晶先端技術開発センター
发明人：
平松 雅人 | 松村 正清
简单同族：
JP2005216934A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
放弃