标题：
液晶ディスプレイパネル用基板の製造方法、及び液晶ディスプレイパネル用基板、並びに露光装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2008065237A
申请日：
2006-09-11
公开(公告)日：
2008-03-21
当前申请(专利权)人：
日本精工株式会社
发明人：
軽石 修作
简单同族：
JP2008065237A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回