标题：
TFT基板及びスパッタリングターゲット及び液晶表示装置及び画素電極及び透明電極及びTFT基板の製造方法
授权日：
2011-01-14
公开(公告)号：
JP4660667B2
申请日：
2004-09-21
公开(公告)日：
2011-03-30
当前申请(专利权)人：
出光興産株式会社
发明人：
松原 雅人 | 井上 一吉 | 笘井 重和
简单同族：
JP2005292768A | JP4660667B2
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
14
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费