标题：
Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducers by micro-stereolithography
授权日：
2003-10-14
公开(公告)号：
US6632178
申请日：
2000-10-27
公开(公告)日：
2003-10-14
当前申请(专利权)人：
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人：
FRASER, JOHN DOUGLAS
简单同族：
AT486668T | DE60143391D1 | EP1294494A2 | EP1294494B1 | JP2004503313A | JP5192114B2 | US6328696 | US6328697 | US6443901 | US6632178 | WO2001097562A2 | WO2001097562A3
简单同族成员数量：
12
简单同族被引用专利总数：
476
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费