标题：
Vibrator array, manufacturing method thereof, and ultrasonic probe
授权日：
2009-05-12
公开(公告)号：
US7530151
申请日：
2006-02-14
公开(公告)日：
2009-05-12
当前申请(专利权)人：
FUJIFILM CORPORATION
发明人：
OSAWA, ATSUSHI
简单同族：
EP1690604A1 | EP1690604B1 | JP2006254406A | JP4703382B2 | US20060181177A1 | US20090115291A1 | US7530151 | US7872949
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
31
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移