标题：
容量性マイクロマシン超音波振動子及びその製造方法、並びに、超音波トランスデューサアレイ
授权日：
2010-04-30
公开(公告)号：
JP4503423B2
申请日：
2004-11-29
公开(公告)日：
2010-07-14
当前申请(专利权)人：
富士フイルム株式会社
发明人：
福永 敏明
简单同族：
JP2006157320A | JP4503423B2
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
28
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移