标题：
硅基液晶面板的制作方法
授权日：
2017-09-22
公开(公告)号：
CN104516138B
申请日：
2013-09-29
公开(公告)日：
2017-09-22
当前申请(专利权)人：
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人：
李新 | 戚德奎 | 陈政
简单同族：
CN104516138A | CN104516138B
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权