标题：
预塌陷的电容微机械超声传感器的制造及其应用
授权日：
2013-06-05
公开(公告)号：
CN101969856B
申请日：
2008-09-17
公开(公告)日：
2013-06-05
当前申请(专利权)人：
皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人：
P·迪克森 | A·范德卢格特
简单同族：
CN101969856A | CN101969856B | EP2207484A2 | EP2207484B1 | US20100207485A1 | US8327521 | WO2009037655A2 | WO2009037655A3
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
128
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权