标题：
高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN1714754A
申请日：
2005-06-30
公开(公告)日：
2006-01-04
当前申请(专利权)人：
通用电气公司
发明人：
田维诚 | 李华伦 | L・S・史密斯 | 李业铭 | 孙阶
简单同族：
CN1714754A | FR2881913A1 | JP2006020313A | JP5113994B2 | US20060004289A1
简单同族成员数量：
5
简单同族被引用专利总数：
158
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查 | 复审