标题：
Method of forming a compliant monopolar micro device transfer head with silicon electrode
授权日：
2013-02-26
公开(公告)号：
US8383506
申请日：
2012-07-06
公开(公告)日：
2013-02-26
当前申请(专利权)人：
APPLE INC.
发明人：
GOLDA, DARIUSZ | BIBL, ANDREAS
简单同族：
US8383506
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
58
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 质押 | 权利转移