标题：
Method of forming a micro device transfer head with silicon electrode
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20130316529A1
申请日：
2012-05-25
公开(公告)日：
2013-11-28
当前申请(专利权)人：
APPLE INC.
发明人：
GOLDA, DARIUSZ | BIBL, ANDREAS
简单同族：
TW201409549A | TWI527097B | US20130316529A1 | US20150216042A1 | US20160196998A1 | US9034754 | US9288899 | US9548233 | WO2013176964A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
70
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 质押 | 权利转移