标题：
발명의 명칭 어모퍼스 하이드로카본 나이트라이드（ａ­ＣＮ：Ｈｘ）막의 성막 방법, 유기 ＥＬ 디바이스
授权日：
2013-07-04
公开(公告)号：
KR101284671B1
申请日：
2010-03-11
公开(公告)日：
2013-07-16
当前申请(专利权)人：
도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人：
이시카와히라쿠
简单同族：
CN102348777A | JP2010219112A | KR101284671B1 | KR1020110138373A | TW201105819A | WO2010104152A1
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
12
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权