标题：
Vapor deposition apparatus, vapor deposition method, and method for manufacturing organic electroluminescent display device
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20130260499A1
申请日：
2011-12-07
公开(公告)日：
2013-10-03
当前申请(专利权)人：
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：
SONODA, TOHRU | KAWATO, SHINICHI | INOUE, SATOSHI | HASHIMOTO, SATOSHI
简单同族：
JP5718362B2 | JPWO2012081476A1 | US20130260499A1 | US9093646 | WO2012081476A1
简单同族成员数量：
5
简单同族被引用专利总数：
14
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移