标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20150155489A1
申请日：
2015-02-09
公开(公告)日：
2015-06-04
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
LEE, CHOONG-HO | LEE, JUNG-MIN | OH, JUN-SIK
简单同族：
KR101146982B1 | KR1020110056108A | US20110123707A1 | US20150155489A1 | US8951349 | US9660191
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
30
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移