标题：
Deposition apparatus and method of manufacturing organic light emitting diode display
授权日：
2016-02-23
公开(公告)号：
US9267202
申请日：
2013-11-07
公开(公告)日：
2016-02-23
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
JOO, SUNG-JOONG | CHA, YOU-MIN | PARK, SEUK-HWAN
简单同族：
CN104120386A | CN104120386B | KR1020140128078A | KR102106414B1 | TW201441392A | TWI607100B | US20140322852A1 | US9267202
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
22
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移