标题：
Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20110168986A1
申请日：
2011-01-10
公开(公告)日：
2011-07-14
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
LEE, YUN-MI | KIM, SANG-SOO | JO, CHANG MOG | PARK, HYUN-SOOK
简单同族：
CN102169967A | CN102169967B | JP2011146377A | JP5677827B2 | KR101174875B1 | KR1020110083358A | TW201130129A | US20110168986A1 | US8859325
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
69
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移