标题：
Film formation source, film formation apparatus, film formation method, organic EL panel, and method of manufacturing organic EL panel
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20050217584A1
申请日：
2005-03-28
公开(公告)日：
2005-10-06
当前申请(专利权)人：
TOHOKU PIONEER CORPORATION
发明人：
ABIKO, HIROSI | MASUDA, DAISUKE | UMETSU, SHIGEHIRO
简单同族：
CN100446300C | CN1678143A | DE602005007648D1 | EP1584705A1 | EP1584705B1 | JP2005281808A | JP4366226B2 | KR1020060043241A | TW200532046A | US20050217584A1 | US20070292610A1
简单同族成员数量：
11
简单同族被引用专利总数：
131
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回 | 权利转移