标题：
Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20110053301A1
申请日：
2010-08-25
公开(公告)日：
2011-03-03
当前申请(专利权)人：
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
发明人：
KANG, HEE-CHEOL | KIM, JONG-HEON | OH, JI-SOOK | KIM, SANG-SOO
简单同族：
JP2011047048A | JP5611718B2 | US20110053301A1
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
46
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回 | 权利转移