标题：
成膜装置とその方法および表示パネルの製造装置とその方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2004204289A
申请日：
2002-12-25
公开(公告)日：
2004-07-22
当前申请(专利权)人：
ソニー株式会社
发明人：
目々澤 聡彦 | 簗嶋 克典 | 佐々木 浩司 | 田中 貞雄 | 成井 啓修
简单同族：
JP2004204289A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
32
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回