标题：
有機材料薄膜の形成方法及びその装置、並びに有機電界発光素子の製造方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2002246175A
申请日：
2001-02-16
公开(公告)日：
2002-08-30
当前申请(专利权)人：
ソニー株式会社
发明人：
田村 眞一郎 | 石橋 義
简单同族：
JP2002246175A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
12
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回