标题：
掩膜板、制造有机发光显示面板的蒸镀装置及其方法
授权日：
2014-08-20
公开(公告)号：
CN102899609B
申请日：
2012-10-17
公开(公告)日：
2014-08-20
当前申请(专利权)人：
深圳市华星光电技术有限公司
发明人：
吴泰必 | 吴元均
简单同族：
CN102899609A | CN102899609B | US20140147964A1 | WO2014059684A1
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
11
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权