标题：
有机EL用掩模清洁装置及方法、有机EL显示器及其制造装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN101677122A
申请日：
2009-09-17
公开(公告)日：
2010-03-24
当前申请(专利权)人：
株式会社日立高新技术
发明人：
井崎良 | 片冈文雄 | 片桐贤司 | 韭泽信广
简单同族：
CN101677122A | CN103394490A | KR101089188B1 | KR1020100032334A | TW201021928A | TWI426964B
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
12
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回 | 复审