标题：
薄膜沉积装置及制造有机发光显示设备的方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN102148234A
申请日：
2010-12-14
公开(公告)日：
2011-08-10
当前申请(专利权)人：
三星显示有限公司
发明人：
池昶恂 | 金兑承 | 李钟禹 | 安成国
简单同族：
CN102148234A | CN102148234B | JP2011127218A | JP5557653B2 | KR101156433B1 | KR1020110068179A | TW201127970A | TWI560288B | US20110143473A1 | US20120186517A1 | US8173481 | US8482422
简单同族成员数量：
12
简单同族被引用专利总数：
19
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权